能量色散X熒光光譜儀就是用檢測器測量被激元素發射的特征X射線能量與相應強度，進行元素的定性、定量分析的儀器。三項標準主要針對能量色散X熒光光譜儀，該標準主要內容如下：
1、本系列標準是在總結我國研發、設計、生產和使用能量色散X射線熒光光譜儀實踐經驗的基礎上，結合我國的實際需求而編制的。本標準主要針對的是能量色散X射線熒光光譜儀，且本部分適用于以X射線管為激發源的能量色散X射線熒光光譜儀, 采用其它激發源的儀器可參照使用。
2、能量色散X射線熒光光譜儀主要用途包括兩個方面，元素成分定性及定量分析、涂覆層厚度分析。本系列標準分為3個部分能量色散X射線熒光光譜儀：第1部分:通用技術、第2部分:元素分析儀、第3部分鍍層厚度分析儀。
3、儀器因為使用環境的不同對各項性能要求也不同，為了更好的測定儀器性能，本系列標準根據儀器的使用形式不同分為：移動式、實驗室、在線式。針對不同形式儀器制定試驗方法。
4、針對能量色散X射線熒光光譜儀，本標準還定義了試驗條件、試驗方法及驗收規則，方便儀器購買方對儀器進行驗收工作。
5、為了滿足測試的需求，統一測試內容，本標準對所用到的標準物質進行了定義，定義了本標準規定的性能測試中需使用高純物質(樣品)，同時在元素分析儀和鍍層分析儀中，指定了測試樣品編號及要求。
? ?6、關于準確性：在能量色散X射線熒光光譜分析中，測量結果的準確性主要與試樣的均一性、試樣量、待測元素含量、標準曲線制作等因素密切相關，屬于光譜儀系統的影響，主要體現在“重復性”和“穩定性”之中。因此，本系列標準第一部分：通用技術未規定“準確性”的技術指標。
7、針對系列標準中的“元素分析儀”和“鍍層分析儀”二部分，定義了能量分辨率、重復性、穩定性、能量線性、最大計數率、計數率線性及峰背比的計算。并通過大量試驗制定了參考標準(測試數據見附件)
8、為方便儀器的使用和管理，本標準還規定了儀器的標志、包裝、運輸及貯存方式。
9、本系列標準的試驗方法在撰寫過程中參考了四川材料與工藝研究所楊明太老師與江蘇天瑞儀器姚棟樑博士當時正在撰寫的國家方法標準《能量色散X射線熒光光譜儀主要性能測試方法》，現此標準也已公布。
能量色散X熒光光譜儀行標制定的意義
標準的執行能很好的幫助行業內部解決以下問題：
1)可規范本行業對于產品的技術要求及其測試方法，促進產業的進步和發展;
2)為產品的合同訂立和產品交易提供技術支持，確保供貨方和使用方的權利和利益;
3)在相關學術交流中，其實驗數據和測量結果的表述更加準確、可靠，更具參考性;
4)在儀器的生產及制造過程中，其提供的參考數據可做為驗收依據。
該標準已基本可以滿足現有儀器衡量要求。制定本標準也是希望可以完善產業鏈標準化體系，推動市場準入制度的執行，減少國際、國內的貿易糾紛，凈化市場競爭環境，促進能量色散X熒光光譜儀行業的發展。希望國內同行業者能多多關注能量色散X熒光光譜儀各項性能，爭取盡快將我國的儀器制造業推向國際先進水平。同時在這里感謝為標準執行做出巨大貢獻的各位專家。