首先，工作原理不同。
光電直讀光譜儀是樣品在激發(fā)臺(tái)被激發(fā)光源激發(fā)后，通過(guò)聚光鏡及直線電機(jī)產(chǎn)生各個(gè)元素的特征光譜，各種元素的光譜譜線通過(guò)光柵分光自動(dòng)排列出各元素譜線，各種元素譜線通過(guò)出射狹縫照射在光電倍增管上，通過(guò)光電倍增管轉(zhuǎn)換成光電流，元素光譜強(qiáng)度與光電流強(qiáng)度成正比例關(guān)系，即光譜越強(qiáng)光電流越大，所測(cè)元素的光譜譜線強(qiáng)度與所測(cè)元素的含量有一定的函數(shù)關(guān)系。再由光電流大小通過(guò)數(shù)據(jù)處理得出所測(cè)元素含量；光電倍增管信號(hào)的測(cè)量、數(shù)字化和存儲(chǔ)；通訊，接收計(jì)算機(jī)命令等。
X—熒光光譜分析儀工作原理是利用高能量的×光，打擊試樣，使試樣中被測(cè)元素的內(nèi)層電子被激發(fā)打走，次內(nèi)層電子回落到內(nèi)層，同時(shí)產(chǎn)生一個(gè)光子，這個(gè)光子具有特定的頻率，與其他原子同樣條件下產(chǎn)生的光子不同，儀器再經(jīng)過(guò)光柵色散，把這一種元素產(chǎn)生的單色光分離出來(lái)，再利用一個(gè)光電管，把這一種光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，這個(gè)電信號(hào)與試樣中被測(cè)物質(zhì)的含量成一定的比例關(guān)系。但是這樣并不能獲得試樣中被測(cè)物質(zhì)的含量,還必須與標(biāo)準(zhǔn)試樣在同樣條件下獲得的電信號(hào)進(jìn)行比較才能獲得試樣中被測(cè)物質(zhì)的百分含量。
其次，分析特點(diǎn)不同。??
x——熒光光譜分析儀的特點(diǎn)是，儀器由計(jì)算機(jī)控制，自動(dòng)化水平高，分析速度快，它不需要象火花(光電)直讀光譜那樣要求試樣具有導(dǎo)電性，所以可以完成非金屬試樣的分析，它可以同時(shí)完成多個(gè)被測(cè)元素或者被測(cè)組分的百分含量，如Mg、Al、Zn、Mn、Si、Cu、Ni、Fe、Be、Sr、MgO、Al2O3、Sio2、Cao及稀土等可以同時(shí)完成。
一般多數(shù)用戶的×—熒光光譜分析儀僅專(zhuān)門(mén)用來(lái)分析精礦粉、石灰、青石、白云石、爐渣、熔劑等不導(dǎo)電的試樣。同時(shí)它也可以進(jìn)行金屬材料等導(dǎo)電試樣的分析。其他特點(diǎn)與直讀光譜相同。X射線熒光直讀光譜儀可以分析粉末樣品、熔融樣品、液體樣品、固體樣品等，非金屬或金屬都可以分析;
火花直讀光譜儀只能分析固體樣品，而且要求樣品是導(dǎo)電介質(zhì)，簡(jiǎn)單的說(shuō)就是分析金屬固體樣品中的金屬或者非金屬元素。
主要用途:儀器是較新型×射線熒光光譜儀，具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析F(9)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無(wú)標(biāo)半定量方法可以對(duì)各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對(duì)某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。×熒光分析快速，某些樣品當(dāng)天就可以得到分析結(jié)果。適合課題研究和生產(chǎn)監(jiān)控。
火花直讀及ICP用來(lái)做純金屬,火花直讀對(duì)樣品要求比ICP要求高,×熒光用來(lái)做合金,但也可以做純金屬,但他的效率就不及火花直讀了.但在做純金屬主量元素分析時(shí),火花直讀和ICP是間接分析,而×熒光可以直接分析主量元素.主要用途:儀器是較新型×射線熒光光譜儀，具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析F(9)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無(wú)標(biāo)半定量方法可以對(duì)各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對(duì)某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。
×熒光分析快速，某些樣品當(dāng)天就可以得到分析結(jié)果。適合課題研究和生產(chǎn)監(jiān)控。火花直讀及ICP用來(lái)做純金屬,火花直讀對(duì)樣品要求比ICP要求高,×熒光用來(lái)做合金,但也可以做純金屬,但他的效率就不及火花直讀了.但在做純金屬主量元素分析時(shí),火花直讀和ICP是間接分析,而×熒光可以直接分析主量元素.精度(分析正確度)除了ICP以外，直讀光譜和X熒光都依靠標(biāo)準(zhǔn)樣品的質(zhì)量。如果，不能準(zhǔn)備完全的標(biāo)準(zhǔn)樣品，不可能得到標(biāo)準(zhǔn)偏差。標(biāo)準(zhǔn)樣品是當(dāng)然一定要沒(méi)有偏析，正確的標(biāo)準(zhǔn)值。除了ICP以外，直讀光譜和X熒光都依靠標(biāo)準(zhǔn)樣品的質(zhì)量。如果，不能準(zhǔn)備完全的標(biāo)準(zhǔn)樣品，不可能得到標(biāo)準(zhǔn)偏差。