X熒光光譜儀（XRF）的定性和定量分析主要基于樣品輻射出的熒光X射線的特性和強度。以下是定性和定量兩種分析的基本步驟和原理：
一、定性分析
樣品制備：樣品需要制備成薄片或顆粒狀，通常使用磨片機或壓片機進行制備。在制備過程中，需要注意不要引入其他元素，以避免干擾分析結果。
照射樣品：使用X射線源對樣品進行照射，激發樣品中的元素發出熒光X射線。
測量熒光X射線：利用熒光X射線探測器測量樣品輻射出的熒光X射線的能量和強度。
譜圖比較：將樣品熒光X射線的能量和強度與已知標準樣品的譜圖進行比較，以確定樣品中各種元素的類型和含量。這通常涉及到對譜圖中不同元素的特征譜線進行識別和分析。
確定元素類型和含量：通過譜圖比較，可以確定樣品中含有哪些元素，并通過譜峰強度的相對大小和譜圖形狀進一步確定元素的含量。
二、定量分析
樣品制備：與定性分析相同，樣品需要制備成薄片或顆粒狀，并避免引入其他元素。
照射樣品和測量熒光X射線：同樣使用X射線源照射樣品，并利用探測器測量熒光X射線的強度。
建立標準曲線：對于每種元素，需要建立一條標準曲線，表示該元素的濃度與其特征譜線強度的關系。這通常需要使用一系列已知濃度的標準樣品進行測量，并繪制出濃度與強度之間的關系圖。
定量分析：在測量未知樣品時，可以通過測量其熒光X射線的強度，并在標準曲線上找到對應的濃度值，從而實現對樣品中元素含量的定量分析。
創想臺式X熒光光譜儀